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在芯片制造的微观世界里,化学气相沉积(CVD)设备堪称一位精准的"镀膜魔法师"——通过气相化学反应,在硅片表面生长出仅有几纳米厚的功能薄膜。这项诞生于实验室的技术,如今已成为半导体、光伏乃至LED产业的核心支柱。现代CVD设备已发展出多元技术路线:等离子体增强CVD(PECVD)利用射频能量激发反应气体,在低温下实现高质量薄膜沉积,特别适用于柔性电子和先进封装;低压CVD(LPCVD)则在接近真空...
实验室旋涂仪是一种广泛应用于材料科学、半导体制造、微电子、光学及生物医学等领域的核心设备,其核心功能是通过高速旋转产生的离心力,在基片(如硅片、玻璃片、聚合物片等)表面均匀涂覆液体薄膜(如光刻胶、聚合物溶液、生物材料等)。其工作原理可分为三个阶段:首先将液体材料滴加至静止或低速旋转的基片中心,随后电机驱动基片加速至设定转速,离心力使液体从中心向外铺展形成均匀薄膜,最终通过溶剂挥发(针对含溶剂体系)或直接固化形成固态或半固态薄膜。实验室旋涂仪的技术特点:一、高精度控制:薄膜均匀...
半导体匀胶机是半导体制造中用于光刻胶均匀涂覆的核心设备,其工作原理基于高速旋转产生的离心力,将滴注在晶圆表面的胶液均匀铺展,形成厚度可控的薄膜层。该设备直接决定光刻工艺的精度与芯片良率,是半导体产业链中不可少的关键环节。匀胶机通过多段速伺服马达控制旋转速度,结合精密点胶阀实现胶量精准控制。以福流半导体最新机型为例,其涂胶量精度可达0.01c,转速误差小于5‰转,支持3寸至8寸晶圆(Φ75mm-Φ200mm)的匀胶工艺。设备通常配备六工位作业系统,通过双机械手独...
晶圆匀胶机是半导体制造及微纳加工领域的核心设备,通过高速旋转基片并滴注胶液,利用离心力实现光刻胶、溶胶-凝胶等材料的均匀涂覆,广泛应用于晶圆、玻璃基板等样件的薄膜制备。其核心原理在于通过精确控制转速、加速度、旋涂时间等参数,结合胶液黏度与基片特性,形成厚度均匀的薄膜层,膜厚误差通常控制在±5nm以内,满足高精度工艺需求。晶圆匀胶机其功能围绕“在晶圆表面形成均匀、可控的薄膜”展开,具体可分为以下核心功能:一、高精度薄膜涂覆这是匀胶机最核心的功能。通过离心力驱动的材...
针对35TSPS(放电等离子烧结)炉的详细设计方案,涵盖设备架构、关键技术创新、工艺控制策略及典型应用场景,适用于超硬材料(如金刚石-金属复合材料)、纳米陶瓷、高熵合金等高性能材料的快速致密化烧结:1.设备核心指标最大压力:35吨(可扩展至50T)升温速率:100-500°C/min(最高温度2200°C)真空度:10⁻³Pa(可选气氛:Ar/N₂/H₂)脉冲电流:DC脉冲(峰值5000A,频率1-10kHz)适用模具:φ20-100mm(石墨/碳化钨材质)2.关键模块设计(...
以下是针对粉体包覆磁控镀膜仪的详细设计方案,涵盖设备架构、关键模块、工艺控制及创新点,适用于金属、陶瓷、高分子粉体的功能性镀膜(如导电、耐磨、防腐等):1.总体设计目标适用粉体:粒径1μm-500μm(可扩展至纳米级)镀膜类型:金属(Al,Cu)、氧化物(Al₂O₃,TiO₂)、氮化物(TiN,CrN)核心指标:膜厚均匀性:±5%(粒径>10μm时)包覆率:>95%(无裸露区域)产能:0.5-5kg/h(视粉体密度而定)2.设备核心模块设计(1)粉体运动系统流化...
半导体等离子溅射镀膜仪采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。(本设备配有旋转加热样品台,可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力)该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。工作原理:等离子体激发:通入氩气(Ar)等惰性气体,在电场作用下电离形成高密度等离...
真空程控型匀胶机是一种通过真空吸附基片、程序化控制转速曲线实现液体/胶状材料精密成膜的关键设备,广泛应用于半导体、光电子等领域的薄膜制备。真空程控型匀胶机工作时将样品用粘接的方法固定在载样盘上,然后开动匀胶机将设备转数设置在一定的转数范围内,在此转数范围内设置一定的注胶时间对样品进行注胶,注胶结束后匀胶机会提升转数限转数进行匀胶,在匀胶之前要对匀胶时间进行设置,当匀胶时间结束后机器自动停止运转,涂膜的整个过程结束。产品优点:75W直流无刷电机,单片机控制。高清晰文本显示器。...
真空钎焊炉的温度场模拟及工艺优化是提升钎焊质量、减少变形和残余应力的关键。以下是系统化的解决方案框架,涵盖数值模拟方法、工装设计优化及工艺参数调控:1.温度场数值模拟流程1.1模型建立几何模型:包含炉膛、加热元件、隔热层、工件(母材+钎料)、工装夹具。示例:航天铝合金薄壁结构(如蜂窝板)需细化网格至钎料层(0.1-0.2mm)。材料参数:温度依赖的热物性参数(导热系数、比热容、密度)、辐射率(高温下主导传热)。钎料熔化特性(固液相变潜热、润湿角模型)。1.2控制方程与边界条件...
等离子清洗机的腔体设计是设备性能的核心,需综合考虑等离子体均匀性、工艺稳定性、维护便利性及安全性。以下是关键设计要点和方案:1.腔体结构设计几何形状:圆柱形腔体:常用,利于等离子体均匀分布,适合射频(RF)或微波激发。矩形腔体:多用于大型或批量化生产,需配合多电极设计保证均匀性。特殊结构:如球形腔体(用于高均匀性要求)或环形腔体(适合连续处理)。尺寸优化:根据工件尺寸和产能需求确定容积,避免过大(功率浪费)或过小(处理不均)。示例:处理300mm晶圆时,腔体直径需≥400mm...
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