等离子清洗机的腔体设计是设备性能的核心，需综合考虑等离子体均匀性、工艺稳定性、维护便利性及安全性。以下是关键设计要点和方案：1.腔体结构设计几何形状：圆柱形腔体：常用，利于等离子体均匀分布，适合射频（RF）或微波激发。矩形腔体：多用于大型或批量化生产，需配合多电极设计保证均匀性。特殊结构：如球形腔体（用于高均匀性要求）或环形腔体（适合连续处理）。尺寸优化：根据工件尺寸和产能需求确定容积，避免过大（功率浪费）或过小（处理不均）。示例：处理300mm晶圆时，腔体直径需≥400mm...