1200℃三温区旋转CVD气相沉积系统安装有投料器和收料罐。1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统投料器可以以额定速率将粉料送入炉管，可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。

炉管材质  

外管不锈钢，内管石英

炉管直径  

两端60mm，中间100mm  

炉管长度  

1640mm  

炉膛长度  

1060mm  

加热区长  

200mm+200mm+200mm  

恒温区长  

200mm  

工作温度  

0～1100℃  

控温精度  

±1℃  

控温模式  

30段或50段程序控温  

显示模式  

LCD  

密封方式  

304不锈钢真空法兰  

法兰接口  

1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头  

可抽真空  

4.4E-3Pa  

供电电源  

AC:220V 50/60Hz  

倾斜角度  

0~15°  

转速  

0~20转  

供  

气  

系  

统  

产品型号  

CY-3F  

气体通道  

3通道  

测量部件  

气体浮子流量计  

测量量程  

A通道：0～100ml/min    H2气  

备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。  

B通道：16～160ml/min    N2气  

C通道：25～250ml/min    Ar气  

测量精度  

±2.0%  

管道耐压  

3MPa  

工作压差  

50～300KPa  

连接管道  

304不锈钢  

控制阀门  

304不锈钢针阀  

接口规格  

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头  

排  

气  

系  

统  

机械泵  

旋片泵  

抽气速率  

1.1L/S      

排气接口  

KF16  

真空测量  

电阻规  

极限真空  

1.0E-1Pa  

供电电源  

AC:220V 50/60Hz  

抽气接口  

KF16