Product Center

产品中心

当前位置:首页  >  产品中心  >    >  CVD气相沉积系统  >  CY-CVD1200-50-200-2TH-Q两通道CVD气相沉积系统

两通道CVD气相沉积系统
简要描述:

两通道CVD气相沉积系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。

  • 产品型号:CY-CVD1200-50-200-2TH-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:60

详细介绍

品牌CYKY

两通道CVD气相沉积系统 是一种用于制备高性能固体材料薄膜的技术。其核心原理是:将含有构成薄膜元素的一种或几种气态反应物通入反应室,在基片(如硅片)表面发生化学反应,并生成固态薄膜沉积下来。

本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。

主要技术参数:


两通道CVD气相沉积系统产品规格:

主要技术参数

显示模式

7英寸触摸屏

真空控制

可通过参数设置,自动完成抽真空,恒压工作

炉管材料

高纯石英

炉管尺寸

直径:50mm,长度1000mm

加热温区

两温区

温区长度

200mm+200mm

工作温度

室温~1100℃

控温精度

±1℃

升温速率

建议10℃/min

控温模式

可编程程序控温

密封方式

真空法兰密封

双通道质量流量计

气体通道

两通道

测量仪器

质量流量计

A路量程

氢气:0~500SCCM

B路量程

氩气:0~1000SCCM

连接管道

抛光不锈钢管

气体缓冲器

1000ml

工作压力

≦3Mpa

工作压差

0.3MPa

管道接口

6.35mm卡套接头

真空泵

抽气接口

KF25

排气接口

KF25

抽气速率

24立方米/小时

极限真空

5.0E-2Pa

电机功率

1100W

电机转速

1440转/分钟

真空计

传感器类型

皮拉力

真空量程

1.0E-1Pa~1.0E5Pa

安装方式

竖直放置

工作电压

DC24V

相关配件

连接管道

KF25波纹管1米长

聚四氟管5米

石英炉管1根

炉管塞子4个

炉钩1支

防护手套1双

真空法兰1套(带密封圈、针阀、气路接头)


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
400-800-1730
欢迎您的咨询
我们将竭尽全力为您用心服务
wjb@cykeyi.com
扫码加微信
版权所有 © 2025 郑州成越科学仪器有限公司  备案号:豫ICP备13020029号-4

TEL:13837189935

扫码加微信