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    1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD气相沉积

    1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD气相沉积由1500℃单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。1500℃单温区高真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制炉管内的气氛环境。

    更新日期：2025-09-07
    厂商性质：生产厂家
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