1200℃单温区三通道混气CVD系统由单温区管式炉和三路浮子流量计组成。由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制路管内的气氛环境。

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