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全自动CVD滑轨炉
简要描述:

全自动CVD滑轨炉系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;四路质子流量计能够准确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。

  • 产品型号:CY-CVD1200-60-455-3TH-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:105

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域地矿,能源,电子/电池,钢铁/金属,航空航天

简单介绍:

全自动CVD滑轨炉系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;四路质子流量计能够准确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。详情介绍:

全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。

适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火,尤其适合需要快速升降温的CVD试验。


技术参数:

项目

明细

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

5KW

工作温度

≤1100℃

加热速率

建议10℃/min

炉管尺寸

O.D.50mm-220mm-220mm(加热区)-1200mm管长

控温精度

0.1℃

温区

双温区

混气系统

4路质子流量计:100sccm1个;200sccm1个;500sccm2个

真空泵

双极旋片真空泵

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