该三温区1600 CVD系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验

炉管材质

高纯氧化铝

炉管直径

60mm(可选配50mm、80mm、100mm)

炉管长度

1300mm

炉膛长度

400mm

加热区长

220×440×220

恒温区长

150mm

工作温度

≤1650℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

供

气

系

统

产品型号

CY-3Z

气体通道

3通道

测量部件

气体质量流量计

测量量程

A通道：0～100SCCM    H2气

备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。

B通道：0～300SCCM    N2气

C通道：0～500SCCM    Ar气

测量精度

±1.0%F.S

管道耐压

3MPa

工作压差

50～300KPa

连接管道

304不锈钢

控制阀门

304不锈钢针阀

接口规格

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

供电电源

AC:220V 50/60Hz

排

气

系

统

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前极泵

旋片泵

抽气速率

分子泵：600L/S

综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa

旋片泵：1.1L/S

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计：电阻规+电离规

极限真空

1.0E-5Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz