派瑞林真空气相沉积是一种专业的产品，用于在材料表面上制备薄膜。它采用了在真空环境中使用气相化学反应来沉积薄膜的过程。这种技术可以广泛应用于各种行业，包括电子、光学、纳米科技等领域

产品型号  

CY-VPC-300  

工作环境  

电源：380V    五线 4 平方以上电缆，*大功率 l0KW  

环境温度：0-40℃  

环境湿度：＜90%  

尺寸  

外观尺寸 1580*880*1550mm，占地面积约 1.5 平米， 安装时周围要留有50cm 以上的操作空间  

加热部分  

升华区  

原料仓：φ69*200mm          容量:300g  

蒸发温度：室温 200℃  

温度偏差:±2℃  

裂解区  

裂解温度:650-700℃ 温度稳定性: ±2℃  

保温区  

加热温度＜300℃  

控制系统  

品牌  

PLC 控制系统  

程序  

为自动沉积系统和手动沉积系统两部分  

显示  

显示屏尺寸:12 寸触摸彩屏  

沉积系统  

真空应体  

1 个，尺寸φ300xH400  ,  304 不锈钢  

腔体容积  

28L  

观察窗  

1 个观察窗口，便于观察产品在沉积室的状态  

旋转部分  

马达转速可调 1-10 转／分  

真空系统  

真空泵  

真空计  

制冷系统  

天寒TH-95-15-G(锅式)，制冷温度≤90℃制冷启动后30分钟内可从室温到-70℃  

偶联剂蒸发装置  

提高派瑞林涂层与需要做涂层基材表面的结合力  

设备主要部件  

1、蒸发系统： 蒸发舱、电力n热装置、温度传感器  

2、裂解系统：裂解舱 、电力日热装置、温度传感器  

3、沉积系统：沉积舱 、真空传感器 、样品架  

4、真空系统： 真空泵、真空计  

5、冷凝系统：锅式冷阱  

6、设备主机：设备外壳、控制电路、真空管道  

7、石英管：   1根  

可沉积原料类型  

Parylene C、N、F、D  

设备特点  

1、气化加热可移动，适合连续生产，如出现突然停电等意外情况可以随时移掉加热，保证产品**．  

2、气化部分部分为透明玻璃管，可以随时查看料的情况，并可以保持低温生产，满足高要求镀膜．  

3、气化可以移动，是派坷**设置，可以保证无**冲突，生产**。  

4、腔体内部转架特殊设计可以有效减少坏点的数量．  

5、可视化、人性化界面，操作简单易懂．  

6、玻璃管，可以大大降低升温降温时间．  

7、保温部分做优化，使得派瑞林不易在玻璃管内壁沉积，可以长期不用保养，减少保养时间