全自动CVD滑轨炉气相沉积系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；四路质子流量计能够准确控制系统的供气；全自动CVD滑轨炉真空泵可实现对管式炉快速抽真空。

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