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卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统
简要描述:

卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。

  • 产品型号:CY-OTF-1200X-II-PEC3-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:73

详细介绍

品牌CYKY

卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样,从而保证了实验的精确性。

PECVD应用领域:

1.微电子与半导体工业,介质薄膜 低k介质 多晶硅/非晶硅薄膜

2.光伏(太阳能电池)工业,氮化硅减反射钝化膜 非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池

3.显示技术(LCD/OLED),薄膜晶体管(TFT)阵列制造

4.光学领域,光学薄膜

PECVD优点:

1.沉积温度低

2. 薄膜质量高

3. 良好的台阶覆盖性和沟槽填充能力

4. 沉积速率较快

5. 广泛的材料体系

卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统技术参数:

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V,50Hz

最大功率

3KW

加热温区

双温区200mm+200mm

工作温度

≤1200℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ80mm I.Dx1400mm L

密封方式

不锈钢真空法兰

真空测量

电阻规

工作气体

氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵

双极旋片式真空泵

极限真空度

10^-1Pa

三路质量流量计

阀门类型

不锈钢针阀

气路数量

三路

承压范围

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM(Ar)

1~200 SCCM(H2)

1~500 SCCM (CH4)

流量控制范围

±1.5%

混气罐容积

750mL

气路材料

304不锈钢

管道接口

6.35mm卡套接头

供电电源

AC220V 50Hz

S射频电源

输出功率

500W

输出精度

±1%

射频频率

13.56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷




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