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产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY |
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卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样,从而保证了实验的精确性。
PECVD应用领域:
1.微电子与半导体工业,介质薄膜 低k介质 多晶硅/非晶硅薄膜
2.光伏(太阳能电池)工业,氮化硅减反射钝化膜 非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池
3.显示技术(LCD/OLED),薄膜晶体管(TFT)阵列制造
4.光学领域,光学薄膜
PECVD优点:
1.沉积温度低
2. 薄膜质量高
3. 良好的台阶覆盖性和沟槽填充能力
4. 沉积速率较快
5. 广泛的材料体系
卷对卷式太阳能电池片PECVD气相沉积系统技术参数:
1200℃双温区管式炉 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
最大功率 | 3KW | |
加热温区 | 双温区200mm+200mm | |
工作温度 | ≤1200℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条 | |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管尺寸 | φ80mm I.Dx1400mm L | |
密封方式 | 不锈钢真空法兰 | |
真空测量 | 电阻规 | |
工作气体 | 氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 | |
真空泵 | 双极旋片式真空泵 | |
极限真空度 | 10^-1Pa | |
三路质量流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
气路数量 | 三路 | |
承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | 1~100 SCCM(Ar) 1~200 SCCM(H2) 1~500 SCCM (CH4) | |
流量控制范围 | ±1.5% | |
混气罐容积 | 750mL | |
气路材料 | 304不锈钢 | |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
供电电源 | AC220V 50Hz | |
S射频电源 | 输出功率 | 500W |
输出精度 | ±1% | |
射频频率 | 13.56MHz | |
射频稳定度 | ±0.005% | |
冷却方式 | 风冷 |
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