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如何维护和保养四电弧提拉法单晶生长炉
如何维护和保养四电弧提拉法单晶生长炉
更新时间:2025-12-10 点击次数:101
四电弧提拉法单晶生长炉
是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr。此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
四电弧提拉法单晶生长炉是一种用于生长高熔点、化学性质活泼金属间化合物单晶的设备,特别适合制备含有稀土或铀元素的材料。其核心原理是通过四个对称电极放电产生高温熔化原料,再通过精密提拉系统控制晶体生长。
液压系统维护是重中之重。需定期检查油质,观察颜色、气味、粘度及杂质情况,一般1-3个月检查一次,必要时更换油液。同时,要控制油液污染,定期更换过滤器滤芯(每1-2个月检查一次),并保持油箱油位正常,及时补充同型号液压油。油温应控制在30-55℃范围内,可通过冷却器或加热器调节。此外,还需定期检查液压缸活塞杆、密封件及安装螺栓,维护液压泵的工作声音、压力和流量,以及保养控制阀的动作灵活性和清洁度。
关键元件维护也不容忽视。需定期检查石墨坩埚托的30°锥角接触面,保证接触平整、吻合。同时,要检查下传动的丝杠、导轨的润滑情况,及时清理并加注润滑油。对于电弧炉的电极,需检查其出水管处温度及回水情况,确保出水畅通。
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