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单温区旋转PECVD石墨烯制备系统
简要描述:

单温区旋转PECVD石墨烯制备系统用于制备石墨烯,是一种 “低温、直接生长" 的技术。它尤其适合在非金属基底(如绝缘衬底)上生长石墨烯,避免了从金属催化剂转移的复杂过程

  • 产品型号:CY-PECVD-50R-1200-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:76

详细介绍

品牌CYKY

单温区旋转PECVD石墨烯制备系统,安装有真空自动投料器,炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料,可以以额定的速率将粉料送入炉管,投料速率可通过调节转速来更改。可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用PECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。 

设备配有100W频率13.56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面,有效的增强反应效果,提高反应速率,这种辅助方法广泛用于石墨烯制备,颗粒包覆等科学实验上。 

本设备特别适合颗粒型样品实验,通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转,转速可调,使得管内物料不断的被搅拌混合,充分与气体和等离子体接触,使样品的反应更加均匀稳定。 

单温区旋转PECVD石墨烯制备系统技术参数:

射频电源  

 

 

 

 

 

输出功率  

150W  

输出精度  

±1%  

射频频率  

13.56MHz  

射频稳定度  

±0.005%  

冷却方式  

风冷  

1200℃单温区管式炉  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

供电电压  

AC220V,50Hz  

*大功率  

2KW  

加热温区  

单个温区200mm  

工作温度  

*高1200℃,连续运行温度应≤1100℃  

控温精度  

±1℃  

控温方式  

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条  

三温区独立控制,带有过热和断偶保护  

炉管材质  

高纯石英  

炉管尺寸  

φ50x800mm  

密封方式  

真空不锈钢法兰、KF16法兰  

可调转速  

0-20rpm  

倾斜角度  

0-15°  

真空泵  

旋片机械泵  

极限真空度  

1.0E-1Pa  

进料方式  

真空漏斗加螺杆进料  



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