当前位置:首页 > 产品中心 > 磁控溅射镀膜仪 > 半导体镀膜磁控溅射仪 > CY-MSH325-5KG5Kg粉体磁控溅射镀膜仪





产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
| 品牌 | CYKY | 价格区间 | 10万-30万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 半导体,机械设备 | 腔体尺寸 | 325mm×H420mm |
| 腔体旋转转速 | 0~20rpm 变频连续可调 | 控温精度 | ±1℃ |
| 标配靶头数量 | 单靶 | 适配靶材 | 各类金属、合金、陶瓷、氧化物靶材 |
| 标配电源 | 1台多弧电源 | 冷却方式 | 风冷 |
| 极限真空度 | 5×10?? Pa | 基础工作气体 | 高纯氩气 |
一、设备简介
5Kg粉体磁控溅射镀膜仪是大容量粉体颗粒专用真空 PVD 包覆设备,专为单次装载 5kg 粉末物料设计,依托磁控溅射物理气相沉积原理,配合腔体旋转、粉体翻滚振动机构,让粉体颗粒持续翻动、滚动,在每一颗粉体表面均匀沉积金属、合金、陶瓷、氧化物纳米薄膜;全程高真空密闭环境,薄膜致密、厚度可控、包覆均匀无团聚,适配科研小批量中试、新材料改性制备场景,由郑州成越科学仪器研发生产,兼顾实验室研发与小批量试制需求。
二、主要用途
粉体颗粒表面包覆改性:微米 / 纳米粉末外包覆导电层、抗氧化层、防腐层、绝缘层、催化层、抗菌层;
解决粉体痛点:粉体易氧化、团聚、导电性差、分散性不佳、界面相容性弱等问题;
可制备单层膜、多层复合膜、合金共溅射薄膜;
粉体样品 SEM 电镜导电镀金、镀银制样;
新材料配方工艺摸索、小批量中试包覆生产。
三、应用领域
新能源材料:锂电池正负极粉体、硅碳负极、石墨粉体包覆金属 / 碳基薄膜;固态电解质粉体改性、超级电容器电极粉体制备;
催化材料:催化剂粉末表面贵金属(Pt、Ag、Au)包覆,提升催化活性与稳定性;
粉末冶金 / 金属粉体:铁粉、铝粉、合金粉抗氧化镀层,提升粉体存储与烧结性能;
生物医药:药用粉体、羟基磷灰石粉体镀银抗菌涂层,生物陶瓷粉体表面改性;
光电与传感器:荧光粉、发光粉体、光学微球表面光学薄膜包覆;气敏传感粉体敏感层制备;
复合材料填料:二氧化硅、氧化铝、碳化硅无机填料金属化包覆,提升树脂、橡胶界面结合力;
科研理化测试:各类粉末扫描电镜(SEM)导电镀膜制样。
四、标准技术参数:
产品名称 | 5Kg粉体磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSH325-5KG | |
粉体承载腔体系统 | 腔体尺寸 | Φ325mm×H420mm,304 不锈钢一体成型 |
腔体旋转转速 | 0~20rpm 变频连续可调 | |
控温精度 | ±1℃ | |
结构配置 | 内置搅拌打散条,防止粉体堆积包覆不均 | |
观测部件 | 石英可视观察窗 | |
多弧等离子靶体配置 | 标配靶头数量 | 单靶 |
靶头规格 | 圆柱形靶材:镍靶材,φ100X40 | |
适配靶材 | 各类金属、合金、陶瓷、氧化物靶材 | |
标配电源 | 1台多弧电源 | |
可选电源 | 直流电源,溅射电源 | |
冷却方式 | 风冷 | |
真空机组系统 | 极限真空度 | ≤5×10⁻⁴ Pa |
多弧工作气压 | DC:0.1~0.5Pa;RF: | |
抽气组合 | 650L/s 涡轮分子泵 + 无油前级真空泵 | |
整机静态漏率 | <1×10⁻⁸ Pa·m³/s | |
气路供气系统 | 基础工作气体 | 高纯氩气 |
可选反应气体 | 氧气、氮气 | |
气体控制 | 高精度质量流量控制器,量程 0~500sccm | |
整机测控系统 | 操控方式 | PLC+10 英寸触摸屏全自动程控 |
工艺存储 | 可存储上30套镀膜工艺配方 | |
选配配件 | 石英晶体膜厚仪,膜厚分辨率 0.1Å | |
安全防护 | 缺水、过压、过流、真空联锁全套报警保护 | |
整机基础参数 | 输入供电 | AC380V/50Hz |
整机额定功率 | 5KW | |
设备外形尺寸 | 1100mm×920mm×1300mm | |
整机净重 | 580Kg | |
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