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详细介绍
| 品牌 | CYKY |
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1200℃单温区高真空CVD气相沉积系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制路炉管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
1200℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
本系统还配有精密分子泵组，可以达到1.0E-3pa真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃单温区高真空CVD气相沉积系统技术参数：
1200单温区3路浮子供气低真空CVD系统 | |||
真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY-O1200-50IT | |
炉管材质 | 高纯石英 | ||
炉管直径 | 50mm（可选配60mm、80mm、100mm） | ||
炉管长度 | 800mm | ||
炉膛长度 | 440mm | ||
加热区长 | 400mm | ||
恒温区长 | 200mm | ||
工作温度 | 0～1100℃ | ||
控温精度 | ±1℃ | ||
控温模式 | 30段或50段程序控温 | ||
显示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | ||
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3F | |
气体通道 | 3通道 | ||
测量部件 | 气体浮子流量计 | ||
测量量程 | A通道：0～100ml/min H2气 | 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 | |
B通道：16～160ml/min N2气 | |||
C通道：25～250ml/min Ar气 | |||
测量精度 | ±2.0% | ||
管道耐压 | 3MPa | ||
工作压差 | 50～300KPa | ||
连接管道 | 304不锈钢 | ||
控制阀门 | 304不锈钢针阀 | ||
接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | ||
排 气 系 统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | CY-600 | ||
前极泵 | 旋片泵 | ||
抽气速率 | 分子泵：600L/S | 综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa | |
旋片泵：1.1L/S | |||
抽气接口 | KF40 | ||
排气接口 | KF16 | ||
真空测量 | 复合真空计：电阻规+电离规 | ||
极限真空 | 1.0E-5Pa | ||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
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