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详细介绍
| 品牌 | CYKY |
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1200℃三温区高真空CVD气相沉积系统由三温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉三个温区分别由精密控温仪表独立控温，通过调节各个温区的温度，该管式炉可以在加热区内形成三段温度梯度或是形成较长的恒温区域。每个温区均可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。1200℃三温区3路浮子供气高真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制路管内的气氛环境。
1200℃三温区高真空CVD气相沉积系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
本系统还配有精密分子泵组，可以达到1.0E-3pa真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数：
真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q | ||
炉管材质 | 高纯石英 | |||
炉管直径 | 50mm（可选配60mm、80mm、100mm） | |||
炉管长度 | 1300mm | |||
炉膛长度 | 1060mm | |||
加热区长 | 300mm+300mm+300mm | |||
工作温度 | 0～1100℃ | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
控温模式 | 30段或50段程序控温 | |||
显示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |||
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3F | ||
气体通道 | 3通道 | |||
测量部件 | 气体浮子流量计 | |||
测量量程 | A通道：0～100ml/min H2气 | 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
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B通道：16～160ml/min N2气 | ||||
C通道：25～250ml/min Ar气 | ||||
测量精度 | ±2.0% | |||
管道耐压 | 3MPa | |||
工作压差 | 50～300KPa | |||
连接管道 | 304不锈钢 | |||
控制阀门 | 304不锈钢针阀 | |||
接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | |||
排 气 系 统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前极泵 | 旋片泵 | |||
抽气速率 | 分子泵：600L/S | 综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa | ||
旋片泵：1.1L/S | ||||
抽气接口 | KF40 | |||
排气接口 | KF16 | |||
真空测量 | 复合真空计：电阻规+电离规 | |||
极限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
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