双温区CVD气相沉积系统由1200℃双温区管式炉、双通道质量流量计和低噪音双极旋片真空泵组成。双温区CVD系统管式炉的两个温区分别由精密控温仪表独立控温，通过调节各个温区的温度，该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。

真空控制  

可通过参数设置，自动完成抽真空，恒压工作  

炉管材料  

高纯石英  

炉管尺寸  

直径：50mm，长度1000mm  

加热温区  

两温区  

温区长度  

200mm+200mm  

工作温度  

室温～1100℃  

控温精度  

±1℃  

升温速率  

建议10℃/min  

控温模式  

可编程程序控温  

密封方式  

真空法兰密封  

双通道质量流量计  

气体通道  

两通道  

测量仪器  

质量流量计  

A路量程  

氢气：0～500SCCM  

B路量程  

氩气：0～1000SCCM  

连接管道  

抛光不锈钢管  

气体缓冲器  

1000ml  

工作压力  

≦3Mpa  

工作压差  

0.3MPa  

管道接口  

6.35mm卡套接头  

真空泵  

抽气接口  

KF25  

排气接口  

KF25  

抽气速率  

24立方米/小时  

极限真空  

5.0E-2Pa  

电机功率  

1100W  

电机转速  

1440转/分钟  

真空计  

传感器类型  

皮拉力  

真空量程  

1.0E-1Pa～1.0E5Pa  

安装方式  

竖直放置  

工作电压  

DC24V  

相关配件  

连接管道  

KF25波纹管1米长  

聚四氟管5米  

石英炉管1根  

炉管塞子4个  

炉钩1支  

防护手套1双  

真空法兰1套（带密封圈、针阀、气路接头）