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桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪
简要描述:

桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备

  • 产品型号:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:67

详细介绍

品牌CYKY价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本设备为桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。  

本套配置采用高真空不锈钢腔体,前开门式设计,门上配有石英观察窗,便于实验的观察记录。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。顶盖上装有一套挡板,可通过转动挡板切换两支靶,实现多层镀膜。  

本设备需要配合高真空分子泵组一起使用,用户可以选择进口品牌小型分子泵以进一步节省安装面积。同时该型号可选配膜厚仪组件,可实时监测膜厚数据,为实验工艺提供可靠参数。

双靶磁控镀膜仪参数:  


产品名称  

桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪  

产品型号  

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS  

样品台  

外形尺寸  

φ60mm  

加热温度  

500  

可调转速  

20rpm  

磁控靶枪  

配两支2英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm  

真空腔体  

腔体尺寸  

φ210mm X260mm  

观察窗口  

全向透明  

腔体材料  

304不锈钢  

开启方式  

上盖拆卸式  

真空系统  

前级泵  

低噪音双极旋片泵  

分子泵  

低噪音大抽速涡轮分子泵  

真空测量  

复合真空计,量程:10-5~105Pa  

抽气接口  

KF16  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF16  

系统真空  

1.0×10-4Pa  

供电电源  

AC 220V 50/60Hz  

抽气速率  

分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s    

电源配置  

电源数量  

直流电源两套  

输出功率  

500W  

 

其他参数  

供电电压  

AC220V,50Hz  

整机功率  

2kW  

整机尺寸  

550mm X 350mm X400mm  



桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪  

桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪  



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