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带偏压双靶磁控镀膜仪
简要描述:

带偏压双靶磁控镀膜仪为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射

  • 产品型号:CY-MSH300P-II-DCRF-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:59

详细介绍

品牌CYKY价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

带偏压双靶磁控镀膜仪为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点,镀膜速率高,样品温升低,是典型的高速低温溅射

磁控镀膜仪典型应用:

•    科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。

•    电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。

•    教学演示:材料科学、真空技术实验教学。

•    以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:



带偏压双靶磁控镀膜仪技术参数:

项目

明细

产品型号

CY-MSH300P-II-DCRF-SS

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

3KW

极限真空度

10-6torr

载样台参数

尺寸

φ140mm

加热温度

*高500℃

控温精度

±1℃

转速

1-20rpm可调

磁控溅射头参数

数量

2个2"磁控溅射头

冷却方式

水冷,所需流速10L/min

水冷机规格

10L/min流速的循环水冷机

真空腔体

腔体尺寸

φ300mm X 300mm H

腔体材料

不锈钢

观察窗口

φ100mm

开启方式

上顶开式,便于更换靶材

气体流量控制器

2路分别通Ar,N2;

量程均为0-100sccm

真空泵

配有一套分子泵系统,抽速600L/S

膜厚仪

石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10Å

溅射电源

直流电源一台,1000W,适用于制备金属膜

射频电源一台,500W,适用于非金属镀膜

操作方式

面板按钮操作

整机尺寸

1400mm X 750mm X 1300mm

整机重量

300kg

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