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分体式单靶磁控镀膜仪
简要描述:

本设备为分体式单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。

  • 产品型号:CY-MSH270-I-RF-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:50

详细介绍

品牌CYKY价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

            本设备为分体式单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
设备的真空获得系统采用两级真空泵组,前级泵为大抽速机械泵,有效缩从常压至低真空的时间,主泵为涡轮分子泵,抽速高,真空获取速度更快。 整体真空获得系统干净快速。

分体式单靶磁控镀膜仪技术参数:


项目

明细

产品型号

CY-MSH270-I-RF-Q

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

3KW

系统真空

≦5×10-4Pa

样品台

尺寸

150mm

加热温度

≤500℃

旋转速度

1-20r/min

控温精度

±1℃

磁控溅射头

数量

2英寸 x1

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

φ270mm X 200mm

观察窗口

全向可视

开启方式

顶盖拆卸式

腔体材料

高纯石英

真空系统

机械泵

CY240

抽气接口

KF16

抽气速率

1.1L/s

分子泵

CY600

抽气接口

KF40

抽气速率

600L/s

排气接口

KF40

真空测量

电阻规+电离规

供电电源

AC;220V 50/60Hz

气体控制

1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM

膜厚测量

可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å

控制系统

CYKY自研专业级控制系统

电源配置

直流电源数量

1台

输出功率

≤500W

输出电压

≤600V

响应时间

<5ms

射频电源数量

1台

输出功率

≤1000W

功率稳定度

≤5W

测量精度

±0.5%

测量速度

100~1000ms

测量上限

50000




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