产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 10万-30万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备为分体式单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
设备的真空获得系统采用两级真空泵组,前级泵为大抽速机械泵,有效缩从常压至低真空的时间,主泵为涡轮分子泵,抽速高,真空获取速度更快。 整体真空获得系统干净快速。
分体式单靶磁控镀膜仪技术参数:
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH270-I-RF-Q | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 3KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 尺寸 | 150mm |
加热温度 | ≤500℃ | |
旋转速度 | 1-20r/min | |
控温精度 | ±1℃ | |
磁控溅射头 | 数量 | 2英寸 x1 |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ270mm X 200mm |
观察窗口 | 全向可视 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
真空系统 | 机械泵 | CY240 |
抽气接口 | KF16 | |
抽气速率 | 1.1L/s | |
分子泵 | CY600 | |
抽气接口 | KF40 | |
抽气速率 | 600L/s | |
排气接口 | KF40 | |
真空测量 | 电阻规+电离规 | |
供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
电源配置 | 直流电源数量 | 1台 |
输出功率 | ≤500W | |
输出电压 | ≤600V | |
响应时间 | <5ms | |
射频电源数量 | 1台 | |
输出功率 | ≤1000W | |
功率稳定度 | ≤5W | |
测量精度 | ±0.5% | |
测量速度 | 100~1000ms | |
测量上限 | 50000 |
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