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桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪
简要描述:

桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。单靶磁控镀膜仪真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验

  • 产品型号:CY-MSZ300-I-DC-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:74

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本设备为桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪,磁控靶偏置于腔体一侧,溅射范围可覆盖样品台一半,通过样品台旋转可以实现更大样品的均匀镀膜。理论*大支持样品直径为180mm。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

磁控镀膜仪典型应用:

•    科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。

•    电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。

•    教学演示:材料科学、真空技术实验教学。

•    以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:

桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪技术参数:  

 

CY-MSZ300G-I-DC-Q 桌面型大腔体偏置靶单靶磁控镀膜仪  

样品台  

尺寸  

φ150mm  

转速  

转速0-20rpm可调  

磁控溅射靶  

数量  

2" x1  偏置于腔体一侧  

真空腔体  

腔体尺寸  

φ300mm X 200mm  

观察窗口  

全向可视  

腔体材料  

高纯石英  

开启方式  

顶盖拆卸式  

下法兰  

装有旋转式样品台及进出气口  

真空系统  

机械泵  

双级旋片泵  

抽气接口  

KF16  

分子泵  

涡轮分子泵  

抽气接口  

KF40  

真空测量  

电阻规+电离规复合真空计  

排气接口  

KF40  

极限真空  

1.0E-3Pa  

供电电源  

AC 220V 50/60Hz  

抽气速率  

前级泵 1.1L/s 分子泵:60L/S  

电源配置  

数量  

直流电源 x1  

*大输出功率  

直流电源300W  

 

其他  

供电电压  

AC220V,50Hz  

整机尺寸  

500mm X 320mm X6200mm  

整机功率  

2kW  


  




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