产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
---|---|---|---|
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备为桌面型偏置靶单靶磁控镀膜仪,磁控靶偏置于腔体一侧,溅射范围可覆盖样品台一半,通过样品台旋转可以实现更大样品的均匀镀膜。理论*大支持样品直径为180mm。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。
磁控镀膜仪典型应用:
• 科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。
• 电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。
• 教学演示:材料科学、真空技术实验教学。
• 以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:
CY-MSZ300G-I-DC-Q 桌面型大腔体偏置靶单靶磁控镀膜仪 | ||
样品台 | 尺寸 | φ150mm |
转速 | 转速0-20rpm可调 | |
磁控溅射靶 | 数量 | 2" x1 偏置于腔体一侧 |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300mm X 200mm |
观察窗口 | 全向可视 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
下法兰 | 装有旋转式样品台及进出气口 | |
真空系统 | 机械泵 | 双级旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
分子泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | KF40 | |
真空测量 | 电阻规+电离规复合真空计 | |
排气接口 | KF40 | |
极限真空 | 1.0E-3Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 前级泵 1.1L/s 分子泵:60L/S | |
电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 |
*大输出功率 | 直流电源300W | |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 500mm X 320mm X6200mm | |
整机功率 | 2kW |
产品咨询