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桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪
简要描述:

本设备为桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。

  • 产品型号:CY-MSZ180G-DC
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:78

详细介绍

品牌CYKY价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本设备为桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。

磁控镀膜仪典型应用:

•    科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。

•    电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。

•    教学演示:材料科学、真空技术实验教学。

•    以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:

桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪技术参数:  

 

桌面型单靶磁控镀膜仪  

样品台  

尺寸  

φ100mm  

加热  

*高500  

转速  

0-20可调  

磁控溅射靶  

数量  

2" x1  

真空腔体  

腔体尺寸  

φ180mm X 215mm  

观察窗口  

全向透明  

腔体材料  

高纯石英  

开启方式  

上盖拆卸式  

真空系统  

机械泵  

旋片泵  

分子泵  

涡轮分子泵  

真空测量  

电阻规+电离规  

抽气接口  

KF16  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF16  

极限真空  

1.0E-4Pa  

供电电源  

AC 220V 50/60Hz  

抽气速率  

机械泵1.1L/s  分子泵600L/s  

电源配置  

数量  

直流电源 x1  

*大输出功率  

直流电源150W  

 

其他  

供电电压  

AC220V,50Hz  

整机功率  

2kW  

整机尺寸  

550mm X 350mm   X400mm  


  



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