本设备为桌面型行星式单靶磁控镀膜仪，腔体下半部为不锈钢机构，上部为高纯石英，兼顾了真空性能和容纳复杂样品台的功能型。设备外形为桌面级别，大大减少了安装场地需求，用于金属及其他导电材料的溅射，非常适合用于各类镀膜试验

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