产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 1-5万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备为桌面型靶下置型磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。真空腔体整体采用下置靶设计,溅射效果好,杂质污染少,能最大限度的保护样品。
磁控镀膜仪典型应用:
• 科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。
• 电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。
• 教学演示:材料科学、真空技术实验教学。
• 以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:
产品名称 | 桌面型靶下置型磁控镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ180X-I-DC-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X215mm |
观察窗口 | 全向透明 | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 上盖拆卸式 | |
真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa | |
抽气接口 | KF16 | |
抽气接口 | KF40 | |
排气接口 | KF16 | |
系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s | |
电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
输出功率 | 500W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 550mm X 350mm X400mm |
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