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桌面型靶下置型磁控镀膜仪
简要描述:

本设备为桌面型靶下置型磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。真空腔体整体采用下置靶设计,溅射效果好,杂质污染少,能*大限度的保护样品。

  • 产品型号:CY-MSZ180X-I-DC-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:66

详细介绍

品牌CYKY价格区间1-5万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本设备为桌面型靶下置型磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,能够用于溅射金属材料,具有速度快温升低等特点。真空腔体整体采用下置靶设计,溅射效果好,杂质污染少,能最大限度的保护样品。

磁控镀膜仪典型应用:

•    科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。

•    电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。

•    教学演示:材料科学、真空技术实验教学。

•    以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:



磁控镀膜技术参数:


产品名称

桌面型靶下置型磁控镀膜仪

产品型号

CY-MSZ180X-I-DC-SS

样品台

外形尺寸

φ100mm

加热温度

500

可调转速

20rpm

磁控靶枪

配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X215mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

304不锈钢

开启方式

上盖拆卸式

真空系统

前级泵

低噪音双极旋片泵

分子泵

低噪音大抽速涡轮分子泵

真空测量

复合真空计,量程:10-5~105Pa

抽气接口

KF16

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

系统真空

1.0×10-4Pa

供电电源

AC   220V 50/60Hz

抽气速率

分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s  

电源配置

电源数量

直流电源一套

输出功率

500W

其他参数

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

2kW

整机尺寸

550mm   X 350mm X400mm




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