3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪是一种三头1“射频等离子体磁控溅射系统，设计用于非金属薄膜涂层，主要用于多层氧化物薄膜。紧凑型磁控溅射镀膜仪是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜机。可根据金属薄膜沉积要求选择直流磁控溅射，可配置3个直流、1个射频/ 2个直流和2个射频/ 1个直流溅射头。

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