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大功率直流磁控溅射镀膜仪
简要描述:

大功率直流磁控溅射镀膜仪是一款高功率台式磁控等离子溅射镀膜机 ,带有一个水冷2英寸靶头,冷水机和可旋转样品架。直流磁控溅射镀膜仪设计用于涂覆直径达4英寸的所有金属薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,价格合理。包含一个Al 目标以供立即使用。

  • 产品型号:CY-MSH325- I-DC-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:71

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容:  

直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。  

大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格:

项目

明细

产品型号

CY-MSH325- I-DC-SS

供电电压

AC220V50Hz

整机功率

4KW

系统真空

5×10-4Pa

样品台

外形尺寸

φ150mm

加热温度

500℃

控温精度

±1

可调转速

20rpm

磁控靶枪

靶材尺寸

直径Φ50.8mm,厚度3mm

冷却模式

循环水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔体

腔体尺寸

直径φ325mm,高度500mm

腔体材质

SUU304不锈钢

观察窗口

直径φ100mm

开启方式

顶开式

气体控制

1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM

真空系统

配分子泵系统1套,气体抽速600L/S

膜厚测量

可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å

溅射电源

直流电源500W

控制系统

CYKY自研专业级控制系统

设备尺寸

600mm   × 650mm × 1280mm

设备重量

350kg

 



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