产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容:
直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。
大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格:
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH325- I-DC-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 4KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 外形尺寸 | φ150mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷却模式 | 循环水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm,高度500mm |
腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
开启方式 | 顶开式 | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
真空系统 | 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å | |
溅射电源 | 直流电源500W | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
设备尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
设备重量 | 350kg |
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