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桌面型双靶磁控镀膜仪
简要描述:

桌面型双靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,在保留高真空不锈钢腔体的同时,精简了其他机构,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源一个射频电源,直流靶可用于金属及其他导电材料的溅射,射频电源可用于各种非金属和金属氧化物等的溅射。设备真空系统采用全进口真空泵,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

  • 产品型号:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:56

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

桌面型双靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计,在保留高真空不锈钢腔体的同时,精简了其他机构,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源一个射频电源,直流靶可用于金属及其他导电材料的溅射,射频电源可用于各种非金属和金属氧化物等的溅射。设备真空系统采用全进口真空泵,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

桌面型双靶磁控镀膜仪技术参数:  

产品名称

桌面型不锈钢腔体双靶磁控镀膜仪

产品型号

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

样品台

外形尺寸

φ100mm

加热温度

500

可调转速

20rpm

磁控靶枪

配两支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm

真空腔体

腔体尺寸

φ210mm X260mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

304不锈钢

开启方式

上盖拆卸式

真空系统

前级泵

低噪音双极旋片泵

分子泵

低噪音大抽速涡轮分子泵

真空测量

复合真空计,量程:10-5~105Pa

抽气接口

KF16

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

系统真空

1.0×10-4Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s

电源配置

电源数量

直流电源两套

输出功率

500W

其他参数

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

4kW

整机尺寸

550mm X 350mm X900mm


 


 


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