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迷你石墨烯CVD气相沉积设备
简要描述:

迷你石墨烯CVD气相沉积设备专为石墨烯生产设计配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。迷你石墨烯CVD设备同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。

  • 产品型号:CY-CVD1200-50-200-3TH-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:52

详细介绍

品牌CYKY

迷你石墨烯CVD设备
本套迷你石墨烯CVD气相沉积设备专为石墨烯生产设计,采用1200℃迷你管式炉,配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。相比于常规的皮拉尼电阻规,薄膜规的读数**,不受气体种类影响,十分适合真空镀膜工艺。同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
该套设备功能**占地面积较小,十分适合实验室规模的CVD制备。  

特点:  

1.高精度质量流量计以及薄膜真空规。  

2.可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀。  

3.体积小巧  

4.专为石墨烯生产设计  

迷你石墨烯CVD气相沉积设备技术参数:  


1200℃迷你管式炉
供电电压  AC220V,50Hz  
功率  2KW max  
加热温区  单温区200mm  
恒温区长  100mm  
加热元件  耐热合金丝  
热电偶  K型  
工作温度
≤1150℃
升温速率
建议≤10℃/min
控温精度
±1℃
控温方式
AI-PID 30段工艺曲线,带有过热和断偶保护
炉管材质
高纯石英
炉管尺寸
φ50mm O.D x 450mm L
真空泵
机械泵  抽速1.1L/s
极限真空
5Pa


三路浮子流量计
阀门类型
不锈钢针阀
气路数量
三路
承压范围
0.05~0.3MPa
量程
Ar 0~500sccm
 H2 0~200sccm
 CH4 0~10sccm
流量控制范围
±1.5%
混气罐容积
750mL
气路材料
304不锈钢
管道接口
6.35mm卡套接头
供电电源
AC220V 50Hz


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