PE-HPCVD等离子增强物理化学气相沉积由一台双温区管式炉，一套钨丝蒸发源，一套等离子发生装置以及一套质量流量计组成。HPCVD等离子增强物理化学气相沉积适用于无机复合粉末的热处理及粉末表面的均匀包覆。

炉管材质  

高纯石英  

炉管直径  

50mm  

炉管长度  

1200mm  

炉膛长度  

440mm  

加热区长  

200mm+200mm  

工作温度  

0～1100℃  

控温精度  

±1℃  

控温模式  

30段或50段程序控温  

显示模式  

高清全彩LCD触控屏  

密封方式  

304不锈钢真空法兰  

供电电源  

AC:220V 50/60Hz  2.5kW  

RF输出系统  

功率范围  

0~300W可调  

工作频率  

13.56MHz+0.005%  

工作模式  

连续输出  

匹配阻抗模式  

能够匹配，起辉均匀布满炉管  

功率稳定度  

≤2W  

正常工作反射功率  

≤3W  

放大反射功率  

≤70W  

谐波分量  

≤-50dBc  

整机效率  

≥70%  

功率因素  

≥90%  

供电电压/频率  

单相交流（187V~153V） 频率50/60Hz  

控制模式  

内控/PLC 模拟量/RS232/485通讯  

电源保护设置  

DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护  

冷却方式  

强制风冷  

起辉长度  

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满炉管  

蒸发舟  

工作温度  

1300℃  

蒸发源  

钨丝篮,可选配锥形氧化铝坩埚  

热电偶  

S型热电偶  

工作电流  

≤30A   

*大功率  

500W  

供气系统  

流量计  

四路质子流量计  

流量范围  

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm  

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm  

分别对应气体H2、 CH4、 N2、 Ar、  

测量精度  

±1.5%F.S  

重复精度  

±0.2%FS  

线性精度  

±1%F.S.  

响应时间  

≤4s  

工作压力  

-0.15Mpa~0.15Mpa  

流量控制  

液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制  

进气接口  

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管  

出气接口  

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管  

连接方式  

双卡套接头  

工作温度  

5~45℃  

气体预混  

配气体预混装置  

真空系统  

产品型号  

CY-GZK103-A  

分子泵  

涡轮分子泵  

前极泵  

双极旋片泵  

抽气速率  

分子泵：600L/S  

综合抽气性能：30分钟真空度可达：5×10E-3Pa  

旋片泵：1.1L/S  

极限真空  

5×10E-4Pa  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF16  

真空测量  

复合真空计