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光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪
简要描述:

光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪是一种用于制备薄膜的设备。它可以在基板表面形成均匀、致密、薄且具有特定性质的膜层

  • 产品型号:CY-MSZ180-I-DC-SS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:119

详细介绍

品牌其他品牌价格区间10万-30万
产地类别国产应用领域能源,电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气
真空腔体直径≦100mm的平面样品均可样品台尺寸直径≦100mm的平面样品均可
磁控靶普通永磁靶,可调角度靶材尺寸直径2英寸,厚度≦3mm,
溅射功率500W

光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪是一种常见的物理气相沉积(PVD)技术,用于制备各种薄膜材料。其工作原理是使用一种叫做磁控溅射的技术,将高纯度的金属或合金靶材溅射生成离子和中性原子,并将它们沉积在基底上形成薄膜。在这种溅射系统中,使用单个靶材,通常是金属或合金的圆盘形,通过在靶材上施加高电压和磁场,将靶材表面的粒子加速并喷向基底。由于基底通常是经过高温处理过的,因此溅射的金属粒子会快速扩散并形成均匀的薄膜。

为了增加溅射速率和膜质量,光纤绕丝技术被引入其中。在光纤绕丝技术中,将纤维绕在靶材和基底之间,形成一条薄薄的缝隙。通过调整靶材和基底之间的距离并控制溅射能量,可以更加**地控制沉积在基底上的薄膜的厚度和组成。

单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪是一种用于制备薄膜的设备。它可以在基板表面形成均匀、致密、薄且具有特定性质的膜层。

这种溅射系统非常适合制备高质量、高纯度、均匀性好的金属和合金薄膜,广泛应用于微电子、光学、电池、太阳能电池等领域。

1. 光学薄膜制备:用于制作高反射、抗反射等光学薄膜。

2. 电子器件制备:用于制备半导体器件、导电膜等。

3. 光学器件制备:用于制备太阳能电池、液晶显示器、LED等器件。

4. 防护涂层制备:用于制备具有防水、防油、防紫外线、防磨损等性能的涂层。

总的来说,单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪广泛应用于科研和工业领域中的薄膜制备。


光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪技术参数:

产品型号

CY-MSZ180-I-DC-SS

供电电压

AC220V,50Hz

整机功率

2kw

绕丝机构

尺寸

Φ15mmx245mm

绕丝速度

1-300r/min

磁控溅射头

数量

2 英寸x1

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

Φ213mm X 307mm

观察窗口

φ80mm

开启方式

上顶开式、左侧开式

腔体材料

不锈钢 304

电源配置

直流电源数量

1 台

输出功率

≤300W

匹配方式

自动匹配

水冷系统

水箱容积

9L

流量

10L/min

供气系统

类型

手动微量调节阀

真空系统

前级泵

双极旋片泵

抽速

1.1L/s

次级泵

涡轮分子泵

抽速

60L/s

抽气口

ISO63

出气口

KF16

真空计

复合真空计





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