等离子溅射和碳蒸发二合一镀膜仪是一款二合一紧凑型涂层装置，配有双级旋转叶片真空泵，可将等离子溅射和蒸发集成到一台小型机器中。等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪专门用于制备SEM和EDAX样品，低成本下用于材料分析中的微观结构和微区成分分析，可以涂覆各种材料，包括碳。

碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理，蒸发等离子溅射复合镀膜仪采用机械泵和分子泵，实现高真空。

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。

双靶磁控及蒸发复合镀膜仪包括不锈钢真空腔体、磁控溅射靶，蒸发镀膜装置，放置样品的样品台，真空泵机组、真空测量规管，进气系统和控制系统组成。可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。

桌面型二合一镀膜仪可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。尤其适合实验室SEM（扫描电镜）的样品制备

热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪适用于扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等