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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 5万-10万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 地矿,能源,建材/家具,电子/电池,钢铁/金属 |
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-4Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪适用于扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。
| 产品名称 | 热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
| 样品台 | 位 置 | 顶部设置 |
| 外形尺寸 | 直径φ150mm | |
| 转 速 | 0-20 rpm可调 | |
| 可调温度 | ≦500℃ | |
| 热蒸发源 | 钨舟 | |
| 蒸发电源 | 蒸发源配一组独立电源 | |
| 溅射电源 | 直流电源 | |
| 溅射靶 | 数量2"×1 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ273mm×H300mm |
| 观察窗口 | 直径φ80mm | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
| 次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速60L/S | |
| 真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
| 系统真空 | 5×10-4Pa | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
| 其他参数 | 供电电源 | AC220V,50Hz |
| 整机尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
| 整机功率 | 7KW | |
| 整机重量 | 120kg | |
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