等离子溅射和碳蒸发二合一镀膜仪是一款二合一紧凑型涂层装置，配有双级旋转叶片真空泵，可将等离子溅射和蒸发集成到一台小型机器中。等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪专门用于制备SEM和EDAX样品，低成本下用于材料分析中的微观结构和微区成分分析，可以涂覆各种材料，包括碳。

功率  

<2000W（包括泵）  

输出功率  

•    等离子溅射：zui大1600VDC和  50mA  

•    蒸发：10VAC和Max.电流20A（用于钨丝筐）。  

工作室  

熔融玻璃管，直径160 mm×110mm高度  

涂层头  

包括两个涂层头：   

•    直流溅射头（2“靶）  

•    通过钨丝篮热蒸发  

样品台  

•    一个50毫米直径的样品台  

•     zui大涂层面积：45毫米直径  

•    包括蒸发夹具用于涂覆轻质金属材料，例如Al，Li，Mg  

包括配件  

•  带有皮拉尼压力表和蒸汽疏水阀的双级旋片式真空泵（外部）消除了包含的油雾，可达到10-2托的真空  

•  附带一个电磁阀，用于自动排气。  

气氛  

安装一个针阀，允许Ar气体进入实现更好的等离子涂层  

靶和蒸发源  

•    一个Au靶：50毫米直径×0.12 mm厚度，包括1件。  

•    包含一根3英尺碳纤维（纱线）用于蒸发（不能使用碳棒进行碳涂层）  

整体尺寸  

L360mm×W300mm×H380mm  

净重  

50 kg  

售后服务  

货物发出后，CYKY提供一年免费售后服务，服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务，客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。