碳钨蒸发等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理，蒸发等离子溅射复合镀膜仪采用机械泵和分子泵，实现高真空。

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