半导体薄膜电子束蒸发镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料
本产品为桌面型石英腔体小型蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀
本产品为桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀
本产品为专为高真空设计的桌面型不锈钢腔体蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀
热蒸发镀膜仪的物理过程主要包括材料的蒸发、气态粒子的输运以及在基底上的沉积成膜。桌面型三源蒸发镀膜仪在蒸发过程中,材料需要获得足够的热能以克服分子间的结合能,从而转变为气态分子并从蒸发源表面逸出