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桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪
简要描述:

本产品为桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀

  • 产品型号:CY-EVZ180-I-H-Q
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-07
  • 访  问  量:59

详细介绍

品牌CYKY价格区间5万-10万
产地类别国产应用领域电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件

本产品为桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作,具有便于观察镀膜过程,易于清洗的优点;配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空,能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。  

桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪技术参数:  


产品名称

桌面型石英腔体蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVZ180-I-H-Q

样品台

外形尺寸

直径φ60mm

转速

≦20rpm

至蒸发源间距

60~100mm 连续可调

蒸发源

有机蒸发源(石英舟和钨丝发热源)

蒸发电源

每个蒸发源配一组独立电源

真空腔体

腔体尺寸

直径φ180mm,高度200mm

观察窗口

直径φ60mm

腔体材

高纯石英

开启方式

上开启式

膜厚测量

膜厚测量仪(可选膜厚控制仪)

真空系统

前级泵

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-4Pa

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电

AC220V,50Hz

整机尺寸

600mm×600mm×750mm

整机功率

1200W

整机重量

40kg




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