耐腐蚀柜式匀胶机旋涂仪采用全PP耐腐蚀全柜式设计,满足工业级别手动匀胶需求,配备自动点胶功能确保了匀胶和点胶过程中的重复性。耐腐蚀柜式匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺
大功率程控伺服匀胶机旋涂仪是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现在价值百万美元的设备上才可能达到的稳定性和均匀性,大功率程控伺服匀胶机能够处理12寸以内的圆晶基片。
此款精密半导体旋涂仪匀胶机共有两种型号:CY-AC200-SE是标准型号,CY-AC200-PE是**型号;CY-AC200精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,这是一种程控伺服型精密匀胶机,可以实现价值百万美元设备上才能达到的稳定性和均匀性。
净化型4寸匀胶机旋涂仪广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此净化型匀胶机进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。