净化型4寸匀胶机旋涂仪广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等，例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时，可用此净化型匀胶机进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶；是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台，可分别独立工作，也可两台同时工作。

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详细介绍

品牌	CYKY

净化型4寸匀胶机旋涂仪特点：

1、带有100级空气净化装置，可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘，防止匀胶过程中的杂质污染。

2、设置有LED照明灯，可程控照明，非常方便日常操作。

3、可设置时间--转速曲线，程序控制匀胶工艺。

4、7英寸液晶显示屏，操作简单易学无需专业学习。

5、采用无刷伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

6、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、生锈，便于清洗。

7、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

8、透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

9、前面板设置有电动玻璃屏升降按钮，可电动升降前挡玻璃板。

净化型4寸匀胶机旋涂仪主要技术参数：

匀胶时间	1-99秒
匀胶转数	0-8000转/分
操作区风速	0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态：垂直层流()适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶
净化效果	100级（美国联邦标准）
外形尺寸	650x750x1620mm
外体颜色	亚白色
控制范围和精度	转速控制范围为：500-8000转，精度为±3%
时间控制范围为	1-99秒，精度为±5%
转速调整	采用PID调节，精度高
转速查看智能化	可自动识别哪个电机开或关，自动转换到开启的电机上。可予先选定，也可在运行中随时查看任一电机的转速

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