防腐型旋转涂覆仪匀胶机采用聚四氟乙烯腔体,外观美观坚固,具有优良的化学稳定性和的耐腐蚀性,能够用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。
净化旋涂仪匀胶机带加热台广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶; 是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作
加热型旋转涂覆仪匀胶机采用全铝合金腔体,美观坚固。仪器采用的精密电机,转速能达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。
12寸不锈钢腔体加热旋涂仪匀胶机是一种实验室设备,主要用于制备薄膜材料,其应用范围包括制备太阳能电池,制备金属、半导体、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制备纳米材料、纳米结构、纳米薄膜等