耐腐蚀柜式匀胶机旋涂仪采用全PP耐腐蚀全柜式设计，满足工业级别手动匀胶需求，配备自动点胶功能确保了匀胶和点胶过程中的重复性。耐腐蚀柜式匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺

耐腐蚀柜式匀胶机旋涂仪特点：  

1. 耐腐蚀PP全柜式独立匀胶台  

2.匀胶机底部带废胶收集，顶部带抽风功能  

3.可升级自动点胶功能，适合工业化生产  

4.集成触摸屏控制，上下移动式透明观察窗  

5.使用伺服电机系统，性能稳定，满足工业要求  

耐腐蚀柜式匀胶机旋涂仪参数：  

1.旋涂程序：至多存100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒  

2.转动速度：0-5000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm  

3.旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s  

4.马达旋涂转速稳定性能误差：< ±1rpm  

5.转速调节精度和重复性：1rpm  

6.工艺时间设定： 0-3000 sec/step，时间设置精度：0.1sec  

7.支持晶圆尺寸25px-300mm（12“圆晶）  

8.旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）  

9..可配备多路自动点胶功能，点胶流速0.006-990ml/min可调  

10.标配三种规格真空载物盘，其它尺寸可定制设计  

11.可配备多路自动点胶功能，点胶流速0.006-990ml/min可调  

12.标配三种规格真空载物盘，其它尺寸可定制设计  

13.外型尺寸：1200mm(W)*800mm(D)*2300mm(H)  

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