卷对卷PECVD石墨烯制备设备主要应用于计算机和智能手机屏幕，超轻、柔性的太阳能电池，以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品

产品名称

卷对卷式PECVD

产品型号

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等离子源

● 输出功率：50-1000W*大可调±1%
 ● RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%
 ● 噪声：≤55DB
 ● 冷却：风冷
 ● 输入功率：1KW  AC 220V

三路质子流量计控制系统

● 电压：AC220V/50Hz
 ● 功率：23W
 ● PLC触摸屏控制
 ● 混气罐尺寸：φ80*120mm
 ● 工作温度：5~45℃
 ● *大压力: 3x106 Pa
 ● 精度: ±1.5% FS
 ● 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
 ● 重复精度: ±0.2%F.S.
 ● 流量范围:
 ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷标定）
 ● 二路: 1~200 SCCM （氢气标定）
 ● 三路: 1~200 SCCM （氩气标定）
 气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

真空测量单元

● 型号：PCG-800
 ● 显示范围：3.8E-5 to 1125 Torr
 精度：
 ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空机组（标配）

● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器（PE材质）、电阻真空计以及连接管道接头等组成
 ● 真空泵抽气速率≥4.4L/s
 ● 极限真空度10-1Pa
 ● 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

卷对卷铜箔收放密封装置

● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料，铜箔的移动速度为1-400mm/min可调；
 ● 配置一卷测试铜箔

● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内，保证铜箔可在密封生长条件下进行运动，实现大规模制备   。
 ● 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却。

产品尺寸

大约2400*800*1250mm

产品重量

大约720kg

质量认证

电器元件可选择通过CE认证

保修期

一年保修，终身技术支持。
 特别提示：
 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。