CY-PECVD50R-1200-Q是一款光学薄膜PECVD等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。

工作电源  

• AC208-220V，50/60Hz  

• 总功率：4KW  

单温区管式炉  

• *高温度：1100ºC(< 2h) 连续工作温度：1000℃  

• PID温度控制器以及30段可编程温控系统   

• 输入功率：220V，单相，功率：1.5KW  

• 加热区长度：200mm，恒温区：100mm   

• 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管   

等离子射频电源  

• 输出功率：0-150W可调（稳定性：±1%）  

• 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)  

• *大反射功率：150W  

• 匹配：手动匹配  

• 射频输出端口：50Ω、N型  

• 噪音：＜50dB  

• 冷却: 空气冷却  

• 电源: 220VAC, 50/60Hz   

石英管  

• 高纯石英管  

• 尺寸：φ50mm*1200mm L   

密封法兰    

• 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）  

真空泵（该部分为选配，单独计费）  

• 双级真空泵   

• KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵   

3通道质子流量计控制系统（该部分为选配，单独计费）  

• 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的**控制（**度：±0.02%）   

• 流量范围:   

一路: 0~100 SCCM   

二路: 0~200 SCCM   

三路: 1~200 SCCM   

• 电压：220V AC 50/60Hz  

• 气体进出口配件：直径6.35mm不锈钢管  

• 不锈钢针阀用于手动控制气体进出  

尺寸和重量  

• 1400mm L x 600mm W x 1240mm H  

• 净重：90kg    

质保期  

• 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）  

质量认证  

• CE认证   

使用注意事项
  

• 炉管内气压不可高于0.02MPa   

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀   

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态   

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击  

• 石英管的长时间使用温度＜1100℃  

• 对于样品加热的实验，使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。