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详细介绍
| 品牌 | CYKY | 价格区间 | 10万-30万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,钢铁/金属,航空航天,制药/生物制药,汽车及零部件 |
三靶磁控溅射镀膜仪(直流+射频)为我公司研发的实验室专用镀膜仪，设备可选配直流电源，和射频电源，功率从500W-1000W不等，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。
磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。
设备经过紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能齐全。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，是一款实验室制备薄膜的理想设备。
三靶磁控溅射镀膜仪(直流+射频)技术参数：
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH300-III-DCDCRF-SS | |
供电电压 | AC220V，50Hz | |
整机功率 | 4KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 尺寸 | φ140mm |
控温精度 | ±1℃ | |
加热温度 | *高500℃ | |
转速 | 1-20rpm可调 | |
磁控溅射头 | 数量 | 2" x3 （1",2"可选） |
水冷机规格 | 10L/min流速的循环水冷机 | |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | Dia.300mm×300mm |
观察窗口 | φ100mm | |
开启方式 | 上顶开式 | |
腔体材料 | 不锈钢 | |
质量流量计 | 2路；量程100sccm；100sccm（可根据客户需要定制多路气路） | |
真空系统
| 产品型号 | CY-GZK103-A |
抽气接口 | CF160 | |
分子泵 | CY-600 | |
排气接口 | KF40 | |
前极泵 | 旋片泵 | |
真空测量 | 复合真空计 | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa | |
电源配置 | 数量 | 直流电源x2 射频电源 x1 |
*大输出功率 | 直流电源500W 射频电源500W | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
整机尺寸 | 600mm X 650mm X 1280mm | |
整机重量 | 300kg | |
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