产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
本设备为桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。 本套配置采用高真空不锈钢腔体,腔体设置带挡板的石英观察窗,便于实验的观察记录;腔体设计真空性能优良,造型小巧,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
磁控镀膜仪典型应用:
• 科研领域:纳米材料、薄膜器件、光学涂层等研究。
• 电子行业:半导体、传感器、导电薄膜制备。
• 教学演示:材料科学、真空技术实验教学。
• 以下是磁控镀膜仪的典型实用案例,涵盖科研、工业及教学领域,体现其多功能性和广泛应用价值:
桌面型双靶磁控溅射镀膜仪不锈钢腔体技术参数:
产品名称 | 桌面型不锈钢腔体双靶磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ254-II-DC-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 配两支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ254mm X 300mm |
观察窗口 | 前置式 | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 上盖开启及前开门 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
分子泵 | 大抽速涡轮分子泵 | |
真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa | |
抽气接口 | ISO63 | |
排气接口 | KF16 | |
系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 前级泵抽速1.1L/s | |
输出功率 | 直流电源500W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 710*480*580 |
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