样品台  

外形尺寸  

Φ360mm  

可调转速  

1-20rpm可调  

磁控靶枪  

靶材平面  

圆形平面靶  

溅射真空  

0.1Pa～3Pa  

靶材直径  

100～101.6mm  

靶材厚度  

3mm  

绝缘电压  

>2000V  

电缆规格  

SL-16  

靶头温度  

≦65℃  

真空腔体  

内壁处理  

电解抛光  

腔体尺寸  

Φ500mm × 500mm  

腔体材料  

304不锈钢  

观察窗口  

石英窗口，直径φ100mm  

开启方式  

侧面开启  

气体控制  

流量控制  

质量流量计，量程0～100SCCM  

气体种类  

可选氩气、氮气、氧气等多种气体  

调节阀类型  

电磁调节阀  

调节阀静止状态  

常闭  

测量线性度  

±1.5%F.S  

测量重复精度  

±0.2%F.S  

测量响应时间  

≤8秒（T95）  

工作压差范围  

0.3MPa  

阀体耐压  

3MPa  

工作环境温度  

（5～45）℃  

阀体材料  

不锈钢316L  

阀体漏率  

1×10-8Pa.m3/s  

管道接头  

1/4″卡套接头  

输入输出信号  

0～5V  

供电电源  

±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）  

外形尺寸mm  

130（宽）×102（高）×28（厚）  

通讯接口  

RS485 MODBUS协议  

直流电源  

电源功率  

1500W  

膜厚测量  

电源要求  

DC:5V（±10%） *大电流 400mA  

分辨率  

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å   /测量(铝)  

测量精度  

±0.5%厚度+1计数  

测量周期  

100mS～1S/次（可设置）  

测量范围  

500,000   Å (铝)  

晶体频率  

6MHz  

通讯接口  

RS-232/485串行接口  

显示位数  

8位LED显示  

分子泵  

分子泵抽速  

1200L/S  

额定转速  

24000rpm  

振动值  

≦0.1um  

启动时间  

5min  

停机时间  

7min  

冷却方式  

水冷+风冷  

冷却水温度  

≦37℃  

冷却水流速  

1L/min  

安装方向  

垂直±5°  

抽气接口  

150CF  

排气接口  

KF40  

前级泵  

抽气速率  

VRD-16  

极限真空  

1Pa  

供电电源  

AC:220V/50Hz  

电机功率  

400W  

噪音  

≦56db  

抽气接口  

KF40  

排气接口  

KF25  

阀门  

闸板阀  

真空腔体与分子泵间装有闸板阀  

切断阀  

分子泵与前级之间装有切断阀  

旁抽阀  

真空腔体与前级之间装有旁抽阀  

放气阀  

真空腔体上装有电磁放气阀  

整机极限真空  

≦5×10^-4Pa  

测试靶材  

直径4英寸厚度3mm的镍靶材1块