产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | CYKY | 价格区间 | 5万-10万 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 |
双靶磁控溅射镀膜仪CY-600-2HD为我公司研发的配有两个靶位的小型实验室用镀膜仪,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。与同类设备相比,这款双靶磁控溅射镀膜仪不仅应用广泛,切体积小便于操作,是一款实验室制备薄膜的理想设备。
产品特点
1:此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,用于导电材料的溅射镀膜
2:该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,应用非常广泛。
3:该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。
产品参数:
项目 | 明细 | |
产品型号 | CY-MSH500- II-DCRF-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 4KW | |
系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
样品台 | 外形尺寸 | φ140mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷却模式 | 循环水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ500mm,高度560mm |
腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
开启方式 | 顶开式 | |
气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM | |
真空系统 | 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S | |
膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 Å | |
溅射电源 | 直流电源500W,射频电源500W | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
设备尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
设备重量 | 350kg |
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