8寸匀胶机带6通道独立控制注射泵可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域

样品尺寸  

zui大直径 8" (~200mm)  

腔体材质  

不锈钢  

上盖（特殊要求）  

数量：2个（其中1个备用，只是盖子，不含其它）石英材质, 便于观察旋涂状态

转速  

0~8000rpm 可调  

加速度  

100~5000rpm/s  

速度分辨率  

1rpm  

操作模式  

触屏控制  

注射泵装置  

6通道独立控制注射泵，但注射泵的控制软件和匀胶机兼容  

适用注射器规格：1ml   - 60ml  

zui大行程：90mm  

线速度范围：7.94um/min-79.4mm/min  

行程控制精度：误差≤±0.5%（行程≥zui大行程的30%）  

额定线性推力：>90N  

滴液装置（特殊要求）  

l  自动和可编程滴液  

l  六个独立注射器和滴液孔，无交叉污染  

l  注射器的容量： 5ml到更高  

l  其中2 条分配线需要jingque控制：可重复的分配量，每次zui小分配量：50ul±5ul，这两条线是用于甲苯溶液。 其他4条线的jingque控制要求稍低，zui小分配量：500ul±50ul，用于辛烷或乙腈溶液  

l  管子和注射器需要对溶剂甲苯、辛烷、乙腈具有很强的耐受性  

l  管子和注射器之间的所有连接都要连接良好，不能泄漏  

控制软件（特殊要求）  

程序和存储配方由步骤组成。 每个步骤至少具有以下可配置参数：时间、旋转速度、斜率、6条分配线中的每条的分配量和6条分配线中的每条的分配速度。  

配方允许循环步骤的子集..  

控制软件配方的典型示例：  

步骤1：注液泵 1 分配 50ul 溶剂  

步骤2：立刻，旋涂机开始以 3000   rpm 旋转 30 秒并停止  

步骤3：注液泵 2 分配 200ul 溶剂  

步骤4：30 秒后，旋涂机开始以 3000   rpm 的速度旋转  

步骤5：10 秒后，注液泵 3 分配 1ml 溶剂  

步骤6：40秒后，旋涂机停止  

步骤7：重复10 次 步骤 1 至 6  

吸盘  

4片 (铝合金，直径 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)  

真空泵  

无油泵  

泵抽速  

50 L/min  

匀胶机尺寸  

~290mm*365mm*300mm  

匀胶机净重  

~20kg