5英寸近源有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池

产品型号  

CY-EVH350JJL-5"-SS  

样品台  

外形尺寸  

5"x5"  

转速  

1-20RPM  

可调温度  

≦950℃  

热蒸发源  

20个红外灯管作为加热元件  

真空腔体  

腔体尺寸  

350 mm Dia x 300 mm h  

观察窗口  

100 mm  

腔体材质  

304不锈钢

开启方式  

前开门式  

膜厚测量  

晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）  

真空系统  

配有一套分子泵系统  

系统真空  

1×10^-5Pa  

流量计  

两路浮子流量计 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m  

工作温度  

每个加热器的*高温度：RT-950℃。  

两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部  

温控系统  

两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序   每个温控系统都带有超温和断偶保护  

水   冷  

循环水冷机（KJ-5300型，16L/min)  

控制系统  

CYKY自研专业级控制器  

其他参数  

供电电源  

208V 60HZ  三相  

整机尺寸  

600mm×650mm×1500mm