详细介绍
品牌 | CYKY |
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净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
净化型匀胶机设备特点:
1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止匀胶过程中的杂质污染。
2、设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺。
4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习。
匀胶机主要技术参数:
匀胶时间 | 1-99秒 |
匀胶转数 | 0-8000转/分 |
操作区风速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流()适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶 |
净化效果 | 100级(美国联邦标准) |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外体颜色 | 亚白色 |
控制范围和精度 | 转速控制范围为:500-8000转,精度为±3% |
时间控制范围为 | 1-99秒,精度为±5% |
转速调整 | 采用PID调节,精度高 |
转速查看智能化 | 可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上。可予先选定,也可在运行中随时查看任一电机的转速 |
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