详细介绍
品牌 | CYKY |
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全自动超声波气氛加热匀胶机是一种小型、灵活的旋转匀胶设备,可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上,进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件,可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路,可将惰性气体通入腔体内,在匀胶时保护胶液不收空气中的气体影响。此款匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆。可匀胶最大圆晶尺寸为6英寸,转速可达10000rpm,加速度可达5000rpm;具有转速稳定,启动迅速,操作方便等优点,并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性,是一款性能优良的产品。
全自动超声波气氛加热匀胶机产品特征:
1. 采用直流无刷电机,单片机控制
2. 高清晰触摸屏控制
3. 可进行单步多步匀胶操作,可存储五种程序,每种程序可设置五步操作
4. 防堵胶设计
5. 铝合金腔体,坚固耐用
6. 带有超声波,气氛,加热等多种辅助功能,为匀胶研究进行多种辅助
产品参数:
产品名称 | 超声波辅助气氛匀胶机 | |
产品型号 | CY-SPC6F-AL-UL | |
匀胶机 | 圆晶尺寸 | 6英寸 |
旋转速度 | 100~10000rpm可调 | |
旋转加速度 | 100~5000rpm/s可调 | |
单次*长匀胶时间 | 3000s | |
匀胶腔体尺寸 | Φ200mm* 90mm | |
电压 | 220V 50Hz | |
功率 | 400W | |
加热温度 | 0-100℃ | |
质保时间 | 易损件除外,1年,终身技术支持 | |
超声波系统 | 雾化头材质 | 钛合金 |
频率 | 40kHz | |
功率 | 130W | |
流量 | 0.55mL/s | |
微粒直径 | 25um | |
雾化头类型 | 锥型 | |
雾化头重量 | 0.3kg | |
超声波电源尺寸 | 315*312*135mm | |
超声波电源重量 | 5kg | |
注射泵 | 流量范围 | 0.001uL/min-43.349mL/min |
掉电记忆工能 | 保存设置参数,重新上电后,无需设置 | |
适用进样器规格 | 10uL-1000uL | |
适用注射器规格 | 1mL-60mL | |
线速度范围 | 5um/min-65um/min | |
线速度调节分辨率 | 5um/min | |
*大行程 | 140mm | |
行程分辨率 | 0.156um | |
额定线性推力 | >90N | |
流量计 | 控制气体种类 | 2种 |
气体流速 | 16-160mL/min |
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